SOI

发布时间:2020-07-30 05:51

SOI(Silicon on Insulator)晶圓是於氧化膜上 成形矽單結晶層為構造的晶圓。於高速LSI、低耗電LSI、Power Device、 MEMS等領域被廣泛的使用。


SOI.png


本公司除了一般的SOI以外也可提供Cavity SOI晶圓、 Thick-BOX® SOI晶圓等特殊晶圓。


Cavity SOI晶圓對MEMS Device製造的工時與良率等有非常大的幫助,可大幅減少成本。並且Thick-BOX® SOI晶圓經本公司獨有的超厚膜熱氧化膜加工技術,可讓SOI晶圓擁有前所未有的Box層厚度,可提早實現矽光(Silicon Photonics)與超高耐壓的半導體power device。